三氟化氮檢測報警儀從類型上可以分為固定在線式三氟化氮泄漏檢測儀和便攜手持式氟化氮NF3濃度報警器兩大類，主要用于使用三氟化氮作為電子工業特種氣體生產儲運場所中檢測氟化氮的濃度值，并超標進行聲光振動報警，以提醒作業人員注意，并可選配精密氣體采樣泵、溫濕度檢測、無線傳輸等附件或功能。