ERUN-PG51SAX3固定在線式砷化氫檢測(cè)報(bào)警儀適用于硅中N型擴(kuò)散、生長(zhǎng)砷化鎵GaAs、外延硅的N型摻雜、離子注入、磷砷化鎵GaAsP等半導(dǎo)體及有機(jī)砷化物合成過(guò)程中砷化氫AsH3濃度的監(jiān)測(cè),固定式砷化氫泄漏檢測(cè)儀能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)環(huán)境空氣中的砷化氫的濃度值及泄漏狀況,在線式砷烷濃度報(bào)警探測(cè)器在監(jiān)測(cè)到砷烷濃度達(dá)到或超過(guò)預(yù)設(shè)的報(bào)警值時(shí)就會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警,自動(dòng)聯(lián)鎖風(fēng)機(jī)電磁閥啟停,并同步在監(jiān)控主機(jī)上顯示砷烷濃度值和報(bào)警狀態(tài)。
產(chǎn)品型號(hào) | ERUN-PG51SAX3 |
檢測(cè)氣體 | 砷化氫AsH3 選配:最多可同時(shí)檢測(cè)任意1~6種氣體和溫濕度。 |
量程分辨率 | AsH3:0-10ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器 其他量程、原理、分辨率可訂制 |
檢測(cè)精度 | ≤±2%F.S(更高精度可訂制) |
響應(yīng)時(shí)間 | T90≤20秒 |
信號(hào)輸出 | 總線制RS485(RTU), 分線制4~20mA、0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V(選配), 無(wú)線傳輸(選配) |
工作電源 | 12~30V(DC直流,單臺(tái)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V,1A或大于1A 的直流開關(guān)電源) |
工作方式 | 固定式安裝,在線檢測(cè),擴(kuò)散式測(cè)量;管道式、流通式、泵吸式可選 |
安裝方式 | 管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%,超出范圍需降壓處理 |
報(bào)警方式 | 現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警(一體式揚(yáng)聲喇叭+LED閃光燈)、顯示屏報(bào)警,可選配氣體報(bào)警控制器進(jìn)行報(bào)警 |
電氣接口 | 3/4NPT,可選M20*1.5內(nèi)螺紋、1/2NPT |
連接電纜 | 4~20mA選三芯屏蔽電纜,RS485選四芯,距離超1000米時(shí)單根線徑≥1.5mm;屏蔽層接大地。 |
防護(hù)等級(jí) | IP66級(jí)防水防塵 |
防爆功能 | 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆 |
防腐功能 | 氟碳漆涂裝防腐工藝 |
外型尺寸 | 210×170×85mm(L×H×W) |
產(chǎn)品重量 | 2400g |